汽化過氧化氫滅菌器是利用過氧化氫在常溫下氣體狀態比液體狀態更具殺孢子能力的優點，經生成游離的氫氧基，用于進攻細胞成分，包括脂類、蛋白質和DNA組織，達到生物去污的目的，汽化過氧化氫滅菌器經專門設計制造而成的一種用于潔凈空間生物去污的專用設備。
滅菌方法：
方法采用化學指示劑和生物指示劑方法，對該滅菌器用于生物安全實驗室空氣和物體表面消毒效果進行了檢測。結果采用過氧化氫低溫滅菌器，保持實驗室溫度在常溫下，相對濕度40%~50%，空間分布過氧化氫濃度約640mg/m3，作用90min，所有化學指示卡均由藍色變為米黃色，呈現合格的顏色。
性能特點：
1、安全：常溫、無毒無殘留；
2、快速：快速的殺菌循環過程，節約成本；
3、高效溫和：過氧化氫氣體具有較好的物料兼容性（電子元件和結構材料），更易驗證；
4、廣譜：有廣譜殺菌作用，適用于真菌、細菌、病毒和芽孢的殺滅；
5、結構：雙管高效汽化器、四面45°噴頭噴射、高效催化分解器、獨立操作控制臺；
6、實時打印、便攜移動。
汽化過氧化氫滅菌器的生物除污過程可分為四個階段：
1、汽化階段：將過氧化氫溶液輸入到汽化器中汽化成過氧化氫蒸汽，并通過風機輸入到混合艙，等待處理；
2、等離子發生階段：將蒸汽狀態的過氧化氫引入至等離子發生艙中，將蒸汽過氧化氫轉化為等離子過氧化氫，并送入至滅菌艙中；
3、生物除污保持階段：繼續向滅菌艙輸入過氧化氫等離子體，直至達到預設的濃度開始計時，在預設的濃度之上保持30~35min，生物除污完成（經驗證30min滅菌效率達到6-log），停止過氧化氫汽化和等離子化；
4、處殘留階段：氣路系統切換到處殘留裝置，汽化等離子體的過氧化氫通過分解器轉化為水和氧氣，不斷循環將空氣中的過氧化氫濃度降到1ppm以下。
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